S2气敏器件易受环境温度和湿度的影响,图12-7给出了温湿度综合特性曲线。由于环境温湿度对气敏器件的特性有影响,在使用时要加温湿度补偿,或选用温湿度性能好的气敏器件。
三、非电阻型气敏器件 1、二极管气敏传感器 如果二极管的金属与半导体的界面吸附有气体,而这种气体又对半导体的禁带宽度或金属的功函数有影响的话,则其整流特性就会发生变化。在掺锢的硫化镉上,薄薄地蒸发一层钯薄膜,就形成了钯硫化镉二极管气敏传感器,这种传感器可用来检测氢气。氢气对这种二极管整流特性的影响如下:在氢气浓度急剧增高的同时,正向偏置条件下的电流也急剧增大。所以在一定的偏置下,通过测量电流值就能知道氢气的浓度。电流值之所以增大,是因为吸附在钯表面的氧气由于氢气浓度的增高而解吸,从而使肖特基势垒降低的缘故。 2、MOS二极管气敏器件 金属-氧化物-半导体(MOS)二极管的结构和等效电路如图12-8所示。它是利用MOS二极管的电容-电压特性的变化制成的MOS半导体气敏器件。在 (责任编辑:传感器) |