O3基片上,以400~800℃烧结1小时制成。其结构如图12-5所示。厚膜工艺制成的元件一致性较好,机械强度高,适于批量生产,是一种有前途的器件。
以上三种气敏器件都附有加热器。在实际应用时,加热器能使附着在控测部分上的油雾,尘埃等烧掉,同时加速气体的吸附,从而提高了器件的灵敏度和响应速度,一般加热到200--400℃,具体温度视所掺杂质不同而异。 这种气敏器件的优点是:工艺简单,价格便宜,使用方便;对气体浓度变化时的响应快;即使在低浓度(3000mg/kg)下,灵敏度也很高。其缺点在于:稳定性差,老化较快,气体识别能力不强,各器件之间的特性差异大等。
各种可燃性气体的浓度与SnO2半导瓷传感器的电阻率变化的关系如图12-6所示。对各种气体的相对灵敏度,可以通过不同的烧结条件和添加增感剂在某种程度上进行调整。一般说,烧结型S2气敏器件在低浓度下灵敏度高,而高浓度下趋于稳定值。这一特点非常适宜检测低浓度微量气体。因此,这种器件常用来检查可燃性气体的泄漏,定限报警等。目前,检测液化石油气、管道空气等气体泄漏传感器已付诸实际应用。 (责任编辑:传感器) |